小型、轻量且经济高效的解决方案

FS-H系列的特点

• 使用更高的冲程率（最大 240 spm）可减小尺寸、重量和成本。
  注意：最大冲程率取决于型号和应用；详情请参阅规格表。
• 所有液体接触部件均采用高纯度氟树脂材料制成。设备外部也涂有氟树脂，因此不会暴露任何金属部件。FS-H 泵还采用我们自己的轴封设计，从而显著减少颗粒的产生。
• 该泵的额定液体温度范围为 5 – 180°C，排放压力为 0.45 MPa。应用包括湿法工艺循环和 CMP 工艺，以及化学品分配进料系统。
• 该泵使用接近传感器驱动系统，可打开/关闭外部空气电磁阀，提供与各种控制器选项兼容的简便性能控制功能。