主体全部为树脂材质,采用注模成形加工的树脂(PFA)。
所有部件均采用氟素树脂。尤其是O形环使用FEP覆层的氟素橡胶,具有非常好的耐药品性,不必担心橡胶的溶解。
为了防止半导体制造时的大敌--微粒的产生,采用了独特的新技术,如;“注模成形加工”、“管道连接方式”、“螺帽式插塞安装装置”等。
插塞、套筒的连接只需按入即可One-Touch连接。
分离时以单手轻按按钮即可。独特的“双重锁扣装置”可防止插塞与套筒的意外脱离。
配管安装形状设计成L型,提高了操作性。
同时,将配管的空间*小化。插塞上标准配置有罩子。各部件均洗净后在无尘室内进行安装、检查以及包装。
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