- **工作室尺寸**：直径2,700毫米
- **低真空泵**：油旋片泵（可选：干泵），机械增压器泵
- **高真空泵**：油扩散泵（可选：冷凝泵），冷凝冷阱（Polycold）
- **蒸发源**：电子束源，RHS（电阻加热源）
- **离子束源**：端霍尔型
- **沉积控制**：QCM（石英晶体微天平）
- **基片夹具**：可选：分段圆顶（4/6/7），翻转夹具，行星夹具
- **控制系统**：HOPE（过程控制与监控 - 个人电脑系统）
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