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EV-X型
结构紧凑、节能,单个装置可覆盖多种工艺
适用于中等负荷工艺
高温控制
节能
采用耐腐蚀材料作为标准
提高耐腐蚀性的选择
不同频率下性能相同(50Hz/60Hz)
无油
符合 CE 标志/SEMI-S2/NRTL 要求
占地面积小
该款中负荷工序用干式真空泵搭载了荏原独特的节能技术,并采用了针对自动化工厂制造而优化的模块化设计,实现了进一步的小型化和节能化。
宽范围的温度控制扩大了适用工艺。
由于同一型号可覆盖多个工艺,因此可优化备用设备库存,减少维护和培训工作,并可灵活适应未来的工艺扩展。
此外,通过对各工序进行最佳温度控制,可提高工序耐性,并可延长零件的更换周期,有助于降低TCoO。
支持的应用示例:各种蚀刻和CVD、灰化、离子注入、外延生长等。



