**蓝宝石(Al₂O₃)晶片产品介绍** ### **一、材料概述** 蓝宝石(Sapphire,化学式Al₂O₃)是一种由高纯度氧化铝(α-Al₂O₃)制成的单晶材料,具有优异的物理、化学和光学性能。其晶体结构为六方晶系,通过提拉法(KY法)或热交换法(HEM法)生长而成,被誉为“工业钻石”。 - **关键特性**: - **超高硬度**:莫氏硬度9(仅次于金刚石),抗刮擦、耐磨损。 - **宽光谱透光性**:覆盖紫外(~200 nm)至红外(~5500 nm)波段,透光率>85%(可见光波段)。 - **化学惰性**:耐强酸、强碱、高温氧化,在极端环境下性能稳定。 - **高热导率**(35 W/m·K):适合高功率器件散热。 - **高熔点**(2045°C):耐受高温工艺(如MOCVD外延生长)。 ### **二、核心优势** 1. **极耐久性** 抗冲击、抗腐蚀、抗高温,寿命远超玻璃和石英材料,适用于严苛环境。 2. **光学性能优异** - 高透光率、低双折射率(<0.008),保障光学系统精度。 - 表面可精密抛光至纳米级粗糙度(Ra<0.5 nm),减少光散射损耗。 3. **兼容半导体工艺** 作为理想衬底材料,支持GaN、ZnO等化合物半导体的高质量外延生长。 4. **尺寸灵活** 可制备直径2~12英寸晶片,厚度范围50 μm~2 mm,适配多样化需求。 5. **环保安全** 无毒无害,符合RoHS、REACH等国际环保标准。 ### **三、典型应用场景** 1. **LED与半导体照明** - **GaN外延衬底**:用于蓝光/白光LED芯片,提升发光效率与器件寿命。 - **Micro-LED显示**:作为微型化显示器的核心基板材料。 2. **消费电子** - **智能手机**:摄像头保护窗口、指纹识别盖板、屏幕盖板(如Apple Watch)。 - **可穿戴设备**:耐刮擦表面玻璃,提升产品耐用性。 3. **光学与激光技术** - **光学窗口片**:用于高功率激光器、红外热像仪、导弹导引头。 - **光学传感器**:耐高温压力传感器窗口、光谱仪棱镜。 4. **工业与科研** - **半导体设备**:晶圆加工中的承载环(Edge Ring)、真空腔体观察窗。 - **超快激光载体**:飞秒激光器的啁啾镜基底。 5. **医疗与生物技术** - **手术器械**:耐高压灭菌的窥镜窗口。 - **生物芯片**:高透光、抗污染的微流控芯片基材。 ### **四、技术参数(示例)** | 参数 | 典型值 | |---------------------|-------------------------| | 晶体结构 | 六方晶系(α-Al₂O₃) | | 密度 | 3.98 g/cm³ | | 透光波段 | 200 nm ~ 5500 nm | | 折射率(@633 nm) | 1.76(寻常光) | | 热膨胀系数(RT~100°C) | 5.3×10⁻⁶ /K | | 晶向 | C面(0001)、R面、A面可选 | ### **五、产品形态与定制化服务** - **标准晶片**:C面抛光片、双面抛光片、图案化衬底(PSS)。 - **特殊加工**: - **镀膜**:增透膜(AR)、抗反射膜、金属化镀层(Cr/Au、Ti/Pt)。 - **异形切割**:圆形、方形、条形,边缘倒角或定制轮廓。 - **微结构加工**:微孔阵列、光栅结构、V型槽。 - **尺寸定制**:直径≤12英寸,厚度±5 μm精度控制。
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