优尔鸿信,多年从事电子产品及半导体检测服务,机构的电子元件检测实验室配备有FIB聚焦离子束、扫描电镜、工业CT、超声波C-SAM等高精尖设备,可提供电子产品、电子元器件、半导体零件的质量检测及失效分析。
聚焦离子束(Focused Ion Beam,简称FIB)是一种先进的材料加工和分析技术,广泛应用于材料科学、半导体制造、生物学等多个领域。FIB设备通过将高能离子束聚焦到样品表面,进行FIB切片测试和分析。其结合了聚焦离子束(FIB)和扫描电子显微镜(SEM)的功能,形成了FIB-SEM技术,实现对材料微观结构的高分辨成像、局部取样和三维重建。
FIB的主要功能
FIB切片测试:FIB可以对PCB板及芯片进行精确的切割,制备出所需的横截面样本,以便观察内部结构。这在分析多层板内部的缺陷(如空洞、分层)时尤为有用
高分辨率成像:FIB-SEM双束系统可以提供高分辨率的成像,帮助工程师观察样品的微观结构,如焊点的金相组织、金属间化合物等
材料分析:FIB可以与EDX(能量色散X射线光谱)等分析手段结合,对样品的化学成分进行详细分析,帮助确定失效的原因
厚度测量:FIB可以无损地测量电镀层的厚度,如镍钯金(ENIG)镀层、OSP(有机焊料保护层)等。通过精确的切割和成像,可以确保测量结果的准确性
失效分析:FIB可以观察电镀层的微观结构,分析是否存在裂纹、空洞等缺陷。FIB切割测试常用于芯片失效分析
精确切割与截面观察:可以对芯片进行微米甚至纳米级别的定点切割,制作出高质量的横截面。例如在分析复杂的多层芯片结构时,能够清晰地揭示各层之间的连接情况、界面状态以及可能存在的缺陷,如短路、开路、层间剥离等。结合能谱仪(EDS)等元素分析系统,还可以对截面的成分进行分析,确定是否存在杂质、元素扩散等问题,从而帮助找出芯片失效的根本原因。


