【岩濑】 变量柱塞泵AR16-FR01 进口yuken活塞泵 日本油研：
产品特点• 高精度控制：采用先进技术和精密控制机制，能控制流体流量和压力，确保半导体制造工艺的稳定性和可靠性。• 耐腐蚀材料：接流体部位材料为氟化乙烯树脂（PFA/PTFE），可有效抵御氢氟酸、硫酸、氨水等强腐蚀性超纯化学品的侵蚀，金属离子析出量＜0.1ppb，避免晶圆加工过程中的污染。• 超低粉尘处理：通过表面粗糙度加工、精密清洗、全平构造等设计，在开关过程中产生的粉尘量低，减少对半导体生产环境的污染。• 独特安全构造：充分考虑高压和热循环等恶劣工况，采用特殊密封结构防止高压泄漏，选用耐高温材料保证热循环过程中的长期稳定运行。• 快速响应：气动控制阀响应时间＜0.1秒，能快速调整流体流量和压力，满足半导体制造中高频开关和快速工艺变化的需求。
应用场景
主要应用于半导体制造全流程，包括晶圆清洗与蚀刻、光刻胶涂布、化学机械抛光（CMP）、药液回收与循环等环节，可准确控制化学品的流量与压力，确保工艺的精度和良率。
外观及连接方式通常采用PFA主体，支持火炬连接及F60连接（3/8″~1″），部分型号有小型化设计，适用于各种接头，可满足半导体设备紧凑空间的安装需求。
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