微探针平台可用于研究材料在不同温度下的电学及光学性质, 典型的应用包含深能级瞬态谱,IC,MEMS, 红外探测器,显微操作等。VTMP系统是准确控制的温度环境，没有振动和微音。
主要参数：
探针类型：钨探针或光纤
可控探针数：2~7
探针移动范围：25 mm x 25 mm x 6 mm
定位精度：50um
温度：70~730K；80~580K；70~580K；80~730K；室温~730K（可选）
温度稳定度：<=0.05K
温度响应：1K/sec
致冷片：10X14 mm
产品特点：
• 可随着时间的推移构建系统
• 体积小
• 优异的温度设定性、稳定性、再现性无机械、声学、电气噪声
• 快速冷却和预热时间，无霜运行
• 工作范围70K-730K
• 非磁性电气馈通件便于直接连接到热载物台上的样品
• 运营成本低
• 功耗均低于12W
真空室：
微探针系统有两种尺寸的真空室第一个是四端口腔室，可以安装1到4个机械手
第二种是七端口腔室，最多可配置7个机械手
微探针系统的应用：
光学显微镜接口
高频操作系统
涡轮分子泵
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