这次送来的是挡水罩,代号 TCS14091,材质PP,重量502.59 g,图纸比例1:2。
一眼看过去,这是个大盘件——外径Φ310 mm,内径Φ108 mm,整体像一个带斜面的圆形挡板,侧面从外缘向内倾斜收缩,形成一个漏斗状的倒扣结构,底部法兰圈宽35 mm,顶部开口Φ300 mm。正面有6个Φ3.4沉头过孔(Φ6深3.4),均布在Φ86的节圆上,另有一个偏心小孔Φ35,偏心距125 mm。侧面截面可以看到多处尺寸:顶部C3倒角、R2圆角、斜面高8 mm、底部法兰厚度17 mm,内孔Φ78.1,粗糙度Ra 3.2标注在内圆面。
在半导体湿法工艺设备里,挡水罩的功能很直接——晶圆旋转清洗时,化学液和去离子水高速甩出,挡水罩把飞溅液体导流到收集槽,防止污染腔体外壁和设备其他部件。PP材质是标配选择,耐酸碱,不引入金属离子,重量502 g对这个尺寸来说也合理。
Φ310 mm 的 PP 大盘件,加工起来有几个地方要注意。
PP导热差,大盘件车削时热量不容易散,刀尖温度高了就粘刀拉丝。这件零件的斜面是关键——从外缘Φ310到内缘Φ108,斜面高度跨了整个侧壁,斜面的均匀性和粗糙度直接影响液体的导流效果。斜面用数控车床一刀成型,主轴转速控制在600~800 rpm,进给0.1 mm/rev,全程压缩空气冷却。斜面接Ra 3.2要求,精车后用粗糙度仪抽检,不合格返修。
内圆Φ78.1也有Ra 3.2要求,这个尺寸是密封或配合面,表面质量直接影响装配后的液体密封效果。内孔精镗用小刀杆,悬伸控制在小值,避免振刀,镗完用内径千分尺逐件复检。
6个Φ3.4沉头孔均布在Φ86节圆上,PP件一步钻到底出口必翻边,还是两步法:先Φ2.8预钻,再Φ3.4成型,沉头用专用锪刀低速刮,深度逐件卡尺复检。偏心小孔Φ35位置度要准,中心距125 mm用数控坐标定位,中心钻先点位,再钻成型。
PP件去毛刺比金属件难,斜面和内圆的过渡区域毛边软塌塌,越刮越毛。技术要求"去毛刺,锐边倒钝,加工纹理均匀,表面无划伤"——处理方式是用新刀片手工顺纹理方向轻刮,再用酒精无尘布全面擦拭,减震洁净包装交付。
502.59 g、Φ310 mm,这件零件在PP大盘件里属于中等偏大的尺寸,莱图加在半导体设备零件加工里做过不少类似的PP旋转件和导流件。小批量非标零件加工这类订单,工艺方案和检测流程都不会因为数量少而打折。
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