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日本FLUORO富乐用于处理5寸半导体硅晶片的晶片夹M100-125
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产品属性
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品牌
日本FLUORO富乐
型号
M100-125
工作原理
往复真空泵
极限真空度类型
超高真空
极限真空度
-4kPa 到 -14kPaPa
抽气速率
300L/s
电机功率
5.0 WkW
工作压强范围
200Pa
温升
80℃
进气口径
55mm
出口口径
49mm
转速
189r/min
用油量
20L
供水量
50L/min
材质
氧化铝耐高温陶瓷
噪音
52db(A)
适用领域
半导体晶片
加工定制
非加工定制
外观尺寸
155 x 72 x 54 mmmm
重量
600 gkg
可调整的真空压力
-4kPa 到 -14kPa
气流量
2.7 l/min
电源需求
100-120 VAC
输出功率
5.0 W
订货号
137-7317-8868
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