ULVAC 爱发科 进气和排气过滤器 SGT-200 日崎代理 直供
ULVAC 爱发科 进气和排气过滤器 SGT-200 日崎代理 直供
一、品牌背景与企业实力
ULVAC 爱发科 1952 年创立于日本，全称株式会社アルバック，是全球真空技术领域龙头企业，品牌理念为 “Ultimate in Vacuum（追求真空极限）”ULVAC。集团全球布局 49 家子公司，在中国设立上海投资总部、苏州制造基地，搭建覆盖销售、技术、售后的本地化服务网络，深耕真空领域七十余年，拥有数万项真空相关专利，是半导体、新能源、光学镀膜行业公认的真空方案供应商爱发科自动化科技(上海)有限公司。
企业核心优势在于完整真空技术闭环：从基础真空泵、真空检测元件，到高端镀膜设备、表面分析仪器全品类自研自产，产品覆盖低、中、高全真空区间，适配锂电、半导体、显示面板、化工、实验室科研等数十类行业，兼顾工业量产设备与精密小型真空元件，兼顾洁净无油工艺与耐腐蚀工况需求爱发科(中国)投资有限公司。
二、核心产品体系介绍
（一）低・中真空真空泵（主流工业基础真空设备）
该系列覆盖 100Pa~101325Pa 区间，是锂电涂布、真空脱泡、封装预处理的核心设备，细分多条产品线：
- 螺杆型干泵（代表 MS120A）
MS系列螺杆干泵
无油干式结构，转子氟涂层耐有机溶剂挥发，极限真空 0.6Pa，抽速覆盖 120~1200m³/h，水冷散热稳定，适配锂电 NMP 挥发、半导体洁净制程，无油污污染工艺腔体，是当前新能源产线主流选型ULVAC SHOWCASE。
2. 其他干式泵：多级罗茨干泵、涡旋干泵、隔膜干泵、摇动活塞泵，全部无油设计，其中隔膜泵全 PTFE 接触材质，耐酸碱腐蚀，适配实验室化学脱泡、小型真空吸附设备。
3. 油回转真空泵（旋片泵）：高抽速、极限真空优异，适合普通工业真空干燥、空调制冷抽空，配套真空机组前级泵使用；另有罗茨泵作为增压泵，提升大腔体抽气效率。
配套耗材包含专用真空泵油、排气过滤单元、原厂可选配件，降低设备运维成本。
（二）高真空真空泵（镀膜、半导体核心）
面向 0.1Pa 以下高真空、超高真空工艺，为溅射、蒸镀、离子注入提供真空环境：
- 低温泵 / 超级冷阱：低温吸附式高真空源，无振动、洁净度极高，用于光学镀膜、半导体晶圆制程；
- 涡轮分子泵、溅射离子泵：超高真空核心泵组，搭配前级干泵实现 10⁻⁶Pa 以上真空；
- 油扩散泵：传统高真空设备，适配大型蒸发镀膜产线，配套专用排气单元稳定尾气排放。
（三）全品类真空配套仪器与设备
除真空泵外，爱发科完整配套真空产业链产品：真空计、气体工艺分析仪、高精度检漏仪、真空阀门、水晶振荡成膜控制器；高端设备包含真空沉积电子枪、真空传输机器人、低温制冷设备、等离子发生电源，可提供一站式真空系统整体解决方案，无需跨品牌采购配件，设备兼容性、稳定性大幅提升爱发科(中国)投资有限公司。
三、行业应用与产品优势
爱发科产品核心竞争力体现在三点：一是全真空区间完整产品线，可按需搭配前级泵、高真空泵组建成套真空机组；二是洁净、耐腐蚀、低能耗设计，干式泵系列大幅减少废液废油排放，契合锂电、半导体环保生产标准；三是本地化技术支持，国内现货库存充足，可提供选型、安装调试、定期维保全流程服务。
产品广泛应用于锂电池极片涂布、半导体芯片封装、OLED / 光学镜片真空镀膜、化工原料脱泡、高校实验室真空实验、医疗器械真空灭菌等场景，是中日高端制造产线标配真空品牌。
特点
- 通过对转子轴和气缸等主要部件进行特殊涂层处理，以防腐蚀。
- 采用ULVAC独特设计的转子轴，实现高性能的排粉。
- 从大气压到极限压力，可以在全压力区域连续运行。
用途
- 半导体和电子器件制造设备相关的真空排气系统，如刻蚀设备、去胶设备、等离子清洗设备等。
- 真空热处理炉真空排气系统，如烧结炉、渗碳炉等。
- 锂电池制造设备真空排气系统，如电极干燥设备、脱泡设备、注液设备等。
- 医疗食品设备相关的真空排气系统，如冷冻干燥设备、真空干燥设备等。
