BROOKS质量流量控制器
上海蕴匠贸易有限公司
中国 上海
产品属性
图文详情
品牌推荐
品牌
BROOKS
型号
GF100CXXC-SH452.6L-VXVOE0-XXXXAX-000
测量范围
23
测量精度
6
适用范围
21
加工定制
非加工定制
外形尺寸
67mm
重量
87kg
上海蕴匠贸易有限公司销售美国BROOKS流量计、BROOKS质量流量控制器、BROOKS变送器、BROOKS压力传感器、BROOKS真空计、BROOKS调节器等全系列产品。
在半导体制造、光伏新能源、生物医药、特种气体及科研实验等工业领域，气体流量的控制直接决定着产品良 率与工艺稳定性。作为热式质量流量控制器（MFC）领域的标杆品牌，Brooks Instrument（布鲁克斯仪器）以 其精度、超快的响应速度和高的可靠性，被晶圆厂和设备厂商广泛采用。
一、关于 Brooks Instrument：
Brooks Instrument总部位于美国，是流量测量与控制设备制造商，拥有超过七十年的行业积淀。其产品覆盖 热式质量流量控制器（MFC）、质量流量计、压力控制器、液位计及真空测量设备等多个品类，广泛应用于半 导体、平板显示、LED、光伏、特种气体、分析仪器及科研院所等对气体控制精度要求高的领域。
在半导体行业，Brooks的GF系列金属密封MFC几乎成为行业标配。从3 sccm的微量气体控制到300 slpm的大流 量输送，Brooks以全金属密封流路、Hastelloy耐腐蚀传感器、MultiFlo多气体多量程可编程技术以及 EtherCAT/DeviceNet/RS-485 等丰富的通信接口，满足了从先进制程到传统工艺的需求。
二、核心产品推荐：BROOKS GF100 系列质量流量控制器
以BROOKS GF100 系列为例，该系列是Brooks面向高纯度气体应用推出的旗舰级金属密封 MFC，具备以下核心 优势：
- 超宽量程覆盖：标准型覆盖 3 sccm 至 55 slpm（N当量），大流量型（GF101/GF121/GF126）延伸至 300 slpm，满足不同工艺场景。
- 精度：流量精度达 ±1% S.P.（20–100量程），重复性 ±0.15% S.P.，长期零点漂移≤±0.15% F.S./ 年 ，确保长期稳定运行。
- 超快响应：常闭阀响应时间低至 300 ms–1 秒，提升设备产能与晶圆间一致性。
- 全金属密封流路：接液材料采用 316L VIM/VAR 不锈钢、Hastelloy C-22 等材料，支持 5 μinch 或 10 μinch Ra 表面光洁度选项，外部泄漏率低至 1×101 atmcc/sec He。
- MultiFlo技术：一台设备支持数千种气体类型和量程组合，无需拆管即可通过软件切换，大幅降低备件库存 成本。
- 丰富通信接口：支持 EtherCAT、DeviceNet、RS-485 及模拟0-5 Vdc，适配各类主流半导体设备控制系统。
以典型型号GF100CXXC-SH452.6L-VXVOE0-XXXXAX-000为例，该型号为 2.6 slpm 满量程、1/4" VCR 接口、常 闭阀、EtherCAT 通信、真空下游应用配置，广泛用于刻蚀、CVD 等工艺腔的气体输送。可提供从选型咨询、 型号确认到现货供应的一站式服务。
除GF100系列外，公司还供应Brooks全系列产品，包括GF120/GF125（更快响应、压力瞬态不敏感）、 GF120XSL/GF120XSD（SDS 输送系统）、SLA5850/SLA7850 系列（橡胶密封经济型 MFC）、Quantim 系列科里 奥利质量流量控制器以及压力控制器、真空计等配套产品。
-SLA5800系列（经典款，行业通用MFC）
弹性密封，流量：0.003 ~ 2500 slpm；精度 ±0.6% SP；重复性 0.2% SP；量程比 100:1；半导体、实验室 、镀膜常用。
- SLAMF系列
弹性密封，IP66 防护，户外 / 工业环境，参数和 SLA5800 接近，适合需要更高防护的工艺。
- GF80/GF81系列（金属密封MFC）
第四代 MultiFlo技术，可现场切换气体、改量程；金属密封，适配腐蚀性、特种气体；CVD、刻蚀、光伏、真 空工艺。
-GF10系列
新一代数字型 MFC，自带故障自诊断，高速通讯（EtherCAT、Profinet 等），半导体先进制程。
-5700系列
经济型热式质量流量计（单纯测量，不带控制阀），无移动部件，吹扫气、在线分析、替换转子流量计。
三、公司核心优势包括：
1. 渠道可靠：所有BROOKS产品均来自正规渠道，可提供原厂出厂校准证书及完整的产品溯源信息，没有翻新 、仿冒产品。
2. 专业选型，技术支持：公司拥有经验丰富的技术团队，可根据客户的气体类型、量程、接口、通信协议、 下游压力等工艺参数，提供型号匹配与替代方案咨询。
3. 现货库存，快速交货：针对半导体行业常用型号备有现货库存，常规型号交货周期短，急单可协调空运， 大限度缩短客户等待时间。
4. 售后完善，服务无忧：提供产品安装指导、故障排查、原厂维修校准对接等全生命周期服务，解决客户后 顾之忧。
5. 价格透明，诚信经营：公司坚持公开透明的报价体系，批量采购可享受优惠价格，支持合同签订、增值税 专用发票等正规商务流程。
四、服务领域与客户群体
涵盖：
- 半导体制造：晶圆厂、封测厂、半导体设备厂商（刻蚀机、CVD、PVD、离子注入机等）
- 光伏与新能源：光伏电池片制造、氢能、燃料电池、锂电池涂布等
- 平板显示与 LED：LCD/OLED 面板制造、LED 外延片及芯片生产
- 特种气体与化工：电子特气、标准气体配比、气相色谱（GC）载气控制
- 科研与高校：实验室气体管路、材料科学、表面分析仪器
- 生物医药：发酵罐通气、无菌气体控制、实验室分析仪器
部分型号：
BROOKS 流量计 GF100CXXC-SH452.6L-VXVOE0-XXXXAX-000
BROOKS 流量计 GF100CXXC-0607200C-VXVOE0-XXXXAX-000
BROOKS 流量计 GF100CXXC-0015200C-VXVOE0-XXXXAX-000
BROOKS 流量计 GF100CXXC-0015100C-VXVOE0-XXXXAX-000
BROOKS 流量计 GF100CXXC-0013200C-VXVOE0-XXXXAX-000
BROOKS 流量计 GF100CXXC-0004200C-VXVOE0-XXXXAX-000
BROOKS 流量计 GF100CXXC-0004010C-VXVOE0-XXXXAX-000
在半导体制造、光伏新能源、生物医药、特种气体及科研实验等工业领域，气体流量的控制直接决定着产品良 率与工艺稳定性。作为热式质量流量控制器（MFC）领域的标杆品牌，Brooks Instrument（布鲁克斯仪器）以 其精度、超快的响应速度和高的可靠性，被晶圆厂和设备厂商广泛采用。
一、关于 Brooks Instrument：
Brooks Instrument总部位于美国，是流量测量与控制设备制造商，拥有超过七十年的行业积淀。其产品覆盖 热式质量流量控制器（MFC）、质量流量计、压力控制器、液位计及真空测量设备等多个品类，广泛应用于半 导体、平板显示、LED、光伏、特种气体、分析仪器及科研院所等对气体控制精度要求高的领域。
在半导体行业，Brooks的GF系列金属密封MFC几乎成为行业标配。从3 sccm的微量气体控制到300 slpm的大流 量输送，Brooks以全金属密封流路、Hastelloy耐腐蚀传感器、MultiFlo多气体多量程可编程技术以及 EtherCAT/DeviceNet/RS-485 等丰富的通信接口，满足了从先进制程到传统工艺的需求。
二、核心产品推荐：BROOKS GF100 系列质量流量控制器
以BROOKS GF100 系列为例，该系列是Brooks面向高纯度气体应用推出的旗舰级金属密封 MFC，具备以下核心 优势：
- 超宽量程覆盖：标准型覆盖 3 sccm 至 55 slpm（N当量），大流量型（GF101/GF121/GF126）延伸至 300 slpm，满足不同工艺场景。
- 精度：流量精度达 ±1% S.P.（20–100量程），重复性 ±0.15% S.P.，长期零点漂移≤±0.15% F.S./ 年 ，确保长期稳定运行。
- 超快响应：常闭阀响应时间低至 300 ms–1 秒，提升设备产能与晶圆间一致性。
- 全金属密封流路：接液材料采用 316L VIM/VAR 不锈钢、Hastelloy C-22 等材料，支持 5 μinch 或 10 μinch Ra 表面光洁度选项，外部泄漏率低至 1×101 atmcc/sec He。
- MultiFlo技术：一台设备支持数千种气体类型和量程组合，无需拆管即可通过软件切换，大幅降低备件库存 成本。
- 丰富通信接口：支持 EtherCAT、DeviceNet、RS-485 及模拟0-5 Vdc，适配各类主流半导体设备控制系统。
以典型型号GF100CXXC-SH452.6L-VXVOE0-XXXXAX-000为例，该型号为 2.6 slpm 满量程、1/4" VCR 接口、常 闭阀、EtherCAT 通信、真空下游应用配置，广泛用于刻蚀、CVD 等工艺腔的气体输送。可提供从选型咨询、 型号确认到现货供应的一站式服务。
除GF100系列外，公司还供应Brooks全系列产品，包括GF120/GF125（更快响应、压力瞬态不敏感）、 GF120XSL/GF120XSD（SDS 输送系统）、SLA5850/SLA7850 系列（橡胶密封经济型 MFC）、Quantim 系列科里 奥利质量流量控制器以及压力控制器、真空计等配套产品。
-SLA5800系列（经典款，行业通用MFC）
弹性密封，流量：0.003 ~ 2500 slpm；精度 ±0.6% SP；重复性 0.2% SP；量程比 100:1；半导体、实验室 、镀膜常用。
- SLAMF系列
弹性密封，IP66 防护，户外 / 工业环境，参数和 SLA5800 接近，适合需要更高防护的工艺。
- GF80/GF81系列（金属密封MFC）
第四代 MultiFlo技术，可现场切换气体、改量程；金属密封，适配腐蚀性、特种气体；CVD、刻蚀、光伏、真 空工艺。
-GF10系列
新一代数字型 MFC，自带故障自诊断，高速通讯（EtherCAT、Profinet 等），半导体先进制程。
-5700系列
经济型热式质量流量计（单纯测量，不带控制阀），无移动部件，吹扫气、在线分析、替换转子流量计。
三、公司核心优势包括：
1. 渠道可靠：所有BROOKS产品均来自正规渠道，可提供原厂出厂校准证书及完整的产品溯源信息，没有翻新 、仿冒产品。
2. 专业选型，技术支持：公司拥有经验丰富的技术团队，可根据客户的气体类型、量程、接口、通信协议、 下游压力等工艺参数，提供型号匹配与替代方案咨询。
3. 现货库存，快速交货：针对半导体行业常用型号备有现货库存，常规型号交货周期短，急单可协调空运， 大限度缩短客户等待时间。
4. 售后完善，服务无忧：提供产品安装指导、故障排查、原厂维修校准对接等全生命周期服务，解决客户后 顾之忧。
5. 价格透明，诚信经营：公司坚持公开透明的报价体系，批量采购可享受优惠价格，支持合同签订、增值税 专用发票等正规商务流程。
四、服务领域与客户群体
涵盖：
- 半导体制造：晶圆厂、封测厂、半导体设备厂商（刻蚀机、CVD、PVD、离子注入机等）
- 光伏与新能源：光伏电池片制造、氢能、燃料电池、锂电池涂布等
- 平板显示与 LED：LCD/OLED 面板制造、LED 外延片及芯片生产
- 特种气体与化工：电子特气、标准气体配比、气相色谱（GC）载气控制
- 科研与高校：实验室气体管路、材料科学、表面分析仪器
- 生物医药：发酵罐通气、无菌气体控制、实验室分析仪器
部分型号：
BROOKS 流量计 GF100CXXC-SH452.6L-VXVOE0-XXXXAX-000
BROOKS 流量计 GF100CXXC-0607200C-VXVOE0-XXXXAX-000
BROOKS 流量计 GF100CXXC-0015200C-VXVOE0-XXXXAX-000
BROOKS 流量计 GF100CXXC-0015100C-VXVOE0-XXXXAX-000
BROOKS 流量计 GF100CXXC-0013200C-VXVOE0-XXXXAX-000
BROOKS 流量计 GF100CXXC-0004200C-VXVOE0-XXXXAX-000
BROOKS 流量计 GF100CXXC-0004010C-VXVOE0-XXXXAX-000
