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核心阀门产品系列
气动真空蝶阀(两段式):代表型号BV-NW63AXONⅡ,支持0–45°半开、90°全开双位置操作,单阀即可完成慢速排气和高速排气,部分带气缸的两级结构可在0–45°区间任意设定开度。
电动直驱型蝶阀:代表型号MBV系列(覆盖NW40、NW50、ISO50、ISO63、ISO80、ISO100、ISO160等多种通径),采用直连电机驱动+高精度齿轮头,停止位置精度可稳定复现,抗大流量抽气冲击能力强,阀体外置角度指示器可直接确认阀盘位置。
波纹管密封型真空蝶阀:阀杆采用波纹管密封结构,无泄漏风险,覆盖JIS、ISO、CF、NW/KF全系列工业法兰标准,适配不同真空管路的安装需求。
闸阀及其他配套阀件:包含MEX-LD、EX、DPV等系列真空闸阀,同时配套提供管道相关零部件,可搭配组成完整的真空管路系统。
典型应用场景
半导体行业:用于工艺设备真空腔体的慢抽/快抽回路控制,适配FPD涂布、键合等核心设备工况。
镀膜/溅射设备:安装在腔体与真空泵之间,实现抽气管路的通断控制。
科研与实验领域:为实验室真空设备提供缓慢泄压、缓慢抽气的工艺控制,也可配套真空炉、真空检测设备调节管路通断与抽气速率。
自动化真空产线:内置位置限位开关可反馈阀位信号,直接接入系统联锁控制,满足自动化产线的安全运行要求。
关键使用注意事项
气动驱动款需接入0.4–0.6MPa的干燥洁净压缩空气,无需复杂气源处理即可稳定运行。
常规工作温度范围为-20~80℃,超出该温度区间需提前与厂商确认工况兼容性。
长期使用时需定期检查更换真空级密封橡胶圈,避免因老化影响真空密封性能。






我司优势品牌一览明细:
CCS晰写速 SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克、PFERD马圈、TEMTOP乐控、JIKCO吉高
SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉、OTSUKA大塚电子、TSUBAKI椿本
NS日本科学、TOKISANGYO东机、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、EBARA荏原、ULVAC爱发科、TORAY东丽
RIYYO理阳、WATSON沃森、KAKUHUNTER写真化学、HEIDON新东科学、NIKKATO日陶、ULVAC爱发科等
USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西
SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC
S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学
AND爱安德、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野
IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣
HEIDON新东、KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基
SURUGA骏河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤,INTECS,RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等
优势产品:日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯
变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计
恒流泵、采样泵、PH计、水分计、地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪
接近开关、拉拔机、异音检测仪、下死点检测装置、空气测量泵、应变测试仪等