ANALYZER第一热研 分离式低浓度氧传感器 TB-II.F 日本原装

ANALYZER第一热研 分离式低浓度氧传感器 TB-II.F 日本原装

规格介绍

本款 TB-II.F 微量氧传感器为管路式分离检测探头，不可单独使用，必须和对应控制单元配套组成整套氧浓度监测系统。核心传感元件采用稳定化氧化锆陶瓷，测量区间 1ppm～100% O₂，线性度与重复性按照 ±1% FS、±1ppm 两者取较大值判定，90% 阶跃响应时间不超过 10 秒。产品包含 P/R/S/V 多款亚型，差异集中在进出气接口规格，适配不同管路连接需求；样气适用流量区间 0.2~5L/min，流量小幅波动不会带来明显读数偏移。探头内部设置多重防护结构，在洁净气源工况下可以抵御微量 HCl、SOx 腐蚀成分，保护氧化锆传感芯体。传感器输出电势信号，通过专用线缆传输至控制单元完成运算、显示与信号输出。适用环境温度 0~50℃，标配探头本体、密封接头、信号线缆，配套流量计、过滤组件可按需选配。

产品特点

该传感器主打洁净气源微量氧监测，针对氮气、氩气等惰性保护气氛设计，适合 ppm 级别低氧场景长期在线监控。对样气流量包容度高，不需要精密稳流装置，简化前端气路配置，减少管路配件。多层防护结构提升传感器耐污染能力，在 PSA 制氧、置换气氛这类工艺场景中使用寿命更长。串联式管路安装结构紧凑，可直接集成在工艺管线内部，不占用大量设备空间，适配半导体腔体、回流炉供气回路。整体结构简洁，拆装、校准、元件更换操作便捷，降低产线长期运维工作量。和 TB-II.G 高温烟气款区分开，TB-II.F 优先用于常温洁净工艺气体，不适合高粉尘高温烟道工况。

产品用途

这款分离式微量氧传感器多用于半导体、电子制造、制氧、船舶惰性气体防护场景，广泛配套氮气回流炉、CVD 扩散炉、PSA 制氧机组、船舶 IGS 惰性气体系统、管式气氛炉。研发工位持续监测高纯氮气置换腔体内部微量氧，验证置换效果，防止样品氧化；产线岗位在线监控半导体工艺管路氧含量，保障制程气氛稳定；制氧设备配套监测气源氧浓度，把控气体品质；船舶安全场景监控舱内惰性置换气体氧指标。工艺、设备人员依靠 TB-II.F 稳定的微量氧检测能力，实现洁净工艺管路氧含量常态化在线监测，为惰性气氛、高纯气源管控提供前端传感方案。