高精密双面可修面研磨机主要用途：该机主要用于硅片、砷化镓片、陶瓷片、石英晶体、光电玻璃及其他硬脆材料的双面高精度研磨、抛光。工作原理：2．本系列研磨机为超高精密研磨设备，上、下研磨盘作相反方向转动，工件在载体内作既公转又自转的游星运动。磨削阻力小不损伤工件，而且两面均匀磨削生产效率高。2．本系列研磨机修整机构采用油压悬浮导轨前后往复运动，金刚石修面刀给研磨盘的研磨面进行平面修整。特 点1． 本系列研磨机的上、下研磨盘可进行自动修盘。2． 采用四个电机同步拖动，变速范围更广，运动精度更高，响应速度更快，能适应不同研磨材料及研磨工艺的要求，实现了软启动、软停止，调速稳定，冲击小。3． 修面机采用伺服马达驱动，能确保油压悬浮导轨滑动更加平稳，得到的平面修整效果非好。4． 控制系统中采用DSP、Web-Link、彩色终端等先进技术，系统的响应速度更快、更精确，并具有远程监控，远程维护功能；5． 本系列研磨机有光栅厚度控制系统，加工后的产品厚度公差可控制在±0.002mm范围内。技术参数：
型 号SX-4BSX-5BSX-6BSX--7BGSX--9B研磨盘规格：φ200×φ100×12tφ300×φ120×12tφ380×φ140×12tφ510×φ200×12tφ635×φ240×12t最大加工工件尺寸φ60mmφ100mmφ130mmφ165mmφ200mm工件平面度（25mm）±0.1u以内±0.1u以内±0.1u以内±0.1u以内±0.2u以内工件平行度（25mm）±0.2u以内±0.2u以内±0.2u以内±0.2u以内±0.4u以内工件粗糙度（石英材料）0.4nm以内0.4nm以内0.4nm以内0.4nm以内0.4nm以内研磨盘修面后平行度±1u以内±1u以内±1u以内±2u以内±2u以内游轮规格φ80mmφ125mmφ155mmφ190mmφ230mm游轮数量5 枚5 枚5 枚5 枚5 枚下研磨盘转速0~180rpm0~180rpm0~180rpm0~140rpm0~140rpm下研磨盘电机功率0.4kw 3相380V0.4kw 3相380V0.75kw 3相380V1.5kw 3相380V2.2kw 3相380V上研磨盘研磨转速0~60rpm0~60rpm0~60rpm0~60rpm0~60rpm上研磨盘电机功率0.2kw 3相380V0.2kw 3相380V0.4kw 3相380V0.75kw 3相380V1.5kw 3相380V上研磨盘修面转速0~180rpm0~180rpm0~180rpm0~140rpm0~140rpm上研磨盘修面电机功率0.2kw 3相380V0.2kw 3相380V0.4kw 3相380V0.4kw 3相380V0.75kw 3相380V太阳轮转速0~60rpm0~60rpm0~60rpm0~60rpm0~60rpm太阳轮电机功率0.2kw 3相380V0.2kw 3相380V0.4kw 3相380V0.4kw 3相380V0.75kw 3相380V外齿轮转速0~30rpm0~30rpm0~30rpm0~30rpm0~30rpm外齿轮电机功率0.2kw 3相380V0.2kw 3相380V0.4kw 3相380V0.4kw 3相380V0.75kw 3相380V修面机速度200mm/分钟200mm/分钟200mm/分钟200mm/分钟200mm/分钟修面机伺服马达功率750w750w750w750w750w外形尺寸：680×1000×2100mm740×1100×2200mm800×1200×2300mm1000×1450×2400mm1200×16150×2400mm重量：760kg850kg1100kg1600kg2300kg