纳米级的测量精度，对被测表面无特殊要求,无论是漫反射或全反射被测表面都能检测。特别适合玻璃等透明物体表面平整度，及厚度测量；小孔深度测量；透明、非透明液面测量。
主要特点

◆ 纳米级分辨率；与光强度无关,与被测体反射系数无关；

◆ 适用各种金属、非金属，以及透明材料的表面位置、位移测量。并与被测体表的亮暗无关；

◆ 精致紧凑光路结构，光学传感器头离控制器几米远,给使用带来方便；

◆ 单向可测玻璃厚度、透镜厚度,以及透明薄膜厚度测量；

◆ 与三角反射法不同,几乎无反射角要求,且无反射平面阻挡之影响,因此可用于小孔深度测量；

◆ 对环境要求不高:无需附加背景光,对被测体温度不敏感, 对被测体表面色差和纹理不敏感；