GR系列气体质量流量计及控制器 美国费思姆（FATHOM）科技是一家专门生产气体流量测量及控制仪表的生产厂家。位于德克萨斯州的工厂专业生产性价比极高的热式质量流量计及控制器。其热式技术拥有三个优势：高精度、高灵敏度、高量程比。宽的量程范围使得热式传感器使用于实验室及工业应用。
FATHOM设计的流量计及控制器结构紧凑，使用方便，而且经济。最高质量成分和最先进的技术溶入一体，FATHOM因此而设计出性能可靠体积小巧的流量计及控制器。FATHOM所有的校验可以追溯到NIST标准，为高的精度提供保障。严格的校验环境以及宽范围的气体种类选择保证了高精度的校验。
应用 *OEM应用 *实验室 *医学 *过程控制 *制药 *泄漏检测 *科学研究 *气体合成 工作原理 测量技术 气体进入流量计及或控制器后以不变的比例被薄片状的旁通道分开。气体分子穿过传感器带走热量，在两个热电阻之间（如图所示）产生一个温差，温差与质量流量成比例关系。
比例阀 FATHOM质量流量控制器采用一个整体的电磁比例调节阀去控制质量流量的大小，其内部电路将SETPOINT命令与流量大小进行对比，然后应用绕组电压的磁性升高或降低阀门激励器（位于小口上方）来获得期望的流量。
GR系列质量流量计及控制器 技术参数 量程
流量计：0－10SCCM到0－500SLPM
流量控制器：0－10SCCM到0－200SLPM 接液材质
Delrin(聚甲醛树酯)，和316SS(316不锈钢) 弹性元件
Viton,Buna,KalRez 输出
线性0－5VDC,或4－20Ma, 供电
24VDC(标准)，可选12－15VDC,115VAC,220VAC@500ma 精度
±1％FS(包括线性) 重复性
±0.15%FS或更好 电气连接
9针D形接口 输入信号
0－5VDC,仅控制器 控制阀
电磁阀 耐压
Delrin(聚甲醛树酯)：250psig(17.25bar)
316SS(316不锈钢)：500psig(34.5bar) 响应时间
1秒 温度系数
0.05%FS/℃，或更好 压力系数
0.10%/PSI,或更好