BROOKS气体质量流量计 5850E
流量范围
相当于0－3
sccm到0－3000
sccm氮气（N2）的范围
在SEMI（半导体设备和材料协会）标准压力和温度（0ºC和101kPa）条件下测得
注：满程流量范围大于50 sccm
性能：校准后为满量程±1％，大于20slpm时为满量程±1.5％。
可重复性：0.25％
控制范围：50：1
安装状态灵感度：复零后，比指定精确度误差不到±0.5％量程。
温度敏感度：零点：小于±0.075％量程每摄氏度
量程：比最初校准刻度小±1.0％量程（在10－50摄氏度）
压力敏感度：±0.03％每psi到200psig(N2)
输出电压：0－5伏直流（200K欧姆的输出电阻）
输出信号：输出0－5伏直流到2000欧姆或更高的负荷
输出5±0.1伏直流（参考），最大负荷2000欧姆
最大操作压力：1500psig ;5-50psid压损（最小压损根据气体和周围环境具体而定）
温度、外界/气体：41－149ºF（5－65ºC）
完全泄漏，外界：1×10-9cc/s
功率要求：常闭阀（或常开阀/流量≤2.5slpm）
3.5瓦特，直流15伏◎35mA,-15伏@180mA
常开阀/流量>2.5slpm
10.5瓦特，直流15伏◎350Ma,-15伏@350mA
构造材质：
标准接液部分采用不锈钢材质，可供选择的还有;Kalrez或Buna-N
连接：
硬件连接：标准9/16－18UNF不锈钢压力接头(Swagelok)，可选：VCO或VCR
电气连接：卡连接器（镀金）或D型连接器（DA－15P）
