型号: OX400 低浓度氧化锆氧分析仪横河电机最新推出的氧分析仪OX400，是公司在该技术的长期经验积累和优秀业绩基础上研发出来的。氧化锆传感器中采用了新型薄膜沉积专利技术，在氧化锆元素和铂层间建立了分子联接。这样不仅预防剥离，还可以减小传感器尺寸，确保高速响应和长寿命。
OX400可用于控制和监视各种半导体应用，并控制环境，空气泄漏入惰性气体及其他过程。
• 用于半导体扩散炉和烘干炉，以及LCD制造工艺中的氧气浓度控制 • 用于控制锡焊炉气流和回流炉中气体的氧气浓度，以及电子制造中使用的手套箱和气体生产工艺中氧气浓度的测量 • 测量氧气浓度，防止粉尘运输中粉尘爆炸 特性使用寿命长，响应速度快 • 由于使用了横河电机的新型薄膜沉积专利技术，传感器的寿命周期提高了三倍 • 圆柱形传感器设计便于置换被测气体，确保高速响应高性能和高可靠性 • 即使在低氧浓度下，仍具有极高的精度和线性 • 在不同应用中，可选择泵式或抽提采样方式内置功能和多种自诊断功能 • 自带多选择器，自动量程，特定量程以及泵开/关功能 • 提供多种自诊断功能，以检测故障，如加热器温度错误，温度传感器断偶和传感器电阻值错误出众的维护性 • 可现场更换传感器 • 小型轻量，易于安装规格测量对象 惰性气体中的氧气浓度 (易燃性气体、二氧化硅、腐蚀性气体或液体(包括水蒸气)除外) 测量系统 氧化锆系统采样方法 泵式，抽提式等样气条件 流速: 200 ± 25ml/min(仅用于传感器) 温度: 0~50℃(无结露) 湿度: 无结露压力: 0~300PaG 最大容许压力: 30kPaG 测量量程 0-10ppm O2至0-100vol% O2 输出量程 自动: 0-10ppm，0-100ppm，0-1000ppm，0-1%，0-10%，0-100%(默认)其他: 可设为0- 0ppm，0- 00ppm，0-000 ppm，0- %，0- 0%，0-100%，1~9的整数固定: 设为0-10ppm，0-100ppm，0-1000ppm，0-1%，0-10%，或0-100% 部分: 可设置下限值或上限值 模拟输出 2路输出，一次: 4～20mA DC(最大负载电阻: 550Ω) 二次: 可选为0~1，0~5，0~10V DC(负载电阻: 10kΩ或更大) 接点输出 报警输出2点: 错误接点，O2浓度报警接点指定量程范围输出1点: 接点输出多选择器(选配件): 流路切换接点输出和测量中流路信息接点输出 接点输入 1点: 采样气体吸入泵的远程ON/OFF 自诊断 错误(故障): 传感器错误，加热器温度错误，温度传感器断开，设备温度错误，CPU错误，FAN停止报警(警告): 加热器不稳定，传感器错误，电动势异常，非对称电压错误错误，标定错误，传感器电阻错误，O2浓度上/下限，超限 串口通信 RS-232，38400 bps 标定方法 (1)3点: 10ppm，1000ppm，空气，(2)2点: 可设定为零点气和量程气标定，(3)1点，(4)空气标定暖机时间 20分以内电源 100 - 120V AC/220 - 240V AC，50/60Hz 功耗 100～120V AC，200VA 最大，220～240V AC，400 VA 最大尺寸 213 (W) x 132 (H) x 约375 (D) mm 质量 约5kg 管线连接 气体入口: Rc1/4或1/4NPT内螺纹气体出口: Rc1/4或1/4NPT内螺纹环境条件 安装条件: 室内，盘装或壁装，非易燃区域环境温度: 0～40℃，无结露环境湿度: 5～85%RH 储存温度: -5～50℃ 符合的安全标准和EMC标准 安全标准: 61010-1:2001 EMC: EN 61326-1 Class A，Table 2(用于工业现场) EN 61326-2-3，EN 61000-3-2，EN 61000-3-3 特性重复性 ±1%F.S.(10，100，1000 ppm，1%，10%或100%) 线性 ±2%F.S. ±3%F.S.(0~100ppm或更低) 响应时间 90%响应 10秒内(0~1%或更高) 30秒内(小于0~1%) 漂移 ±2%F.S./周

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