产品简介
本公司生产的真空镀膜电源(真空蒸发镀膜电源和真空溅射镀膜电源)
以下特点:
1、恒压,恒功率
2、抑制靶材弧光放电及抗短路功能, 具有极佳的负载匹配力。
3、工艺重复性好。
4、提高成膜速度, 实现高质量的溅射膜层。
技术参数
品名:
真空镀膜电源
型号:
SPWM系列
输入:
相数
单相或三相
电压
220/380V
频率
50Hz
输入方式:
4线(含地线)
输出:
波形
直线
功率 30KW /60KW /100KW(可定制)
电压
0—1200V(可定制)
稳定度
≤1%
电流
0—200A(可定制)
稳定度
≤1%
纹波及杂讯 ≤5%或≤3%
效率
≥90%
控制: 功率
可选择
电压
恒压控制,可本地控制也可通过0-10V或4-20mA
电流
可选择
保护:具备缺相、过热、限压、恒功率、过压、过流、短路、超