产品简介 本公司生产的真空镀膜电源（真空蒸发镀膜电源和真空溅射镀膜电源） 以下特点：
1、恒压，恒功率 　　　　　2、抑制靶材弧光放电及抗短路功能, 具有极佳的负载匹配力。
　　　　　3、工艺重复性好。
　　　　　4、提高成膜速度， 实现高质量的溅射膜层。
技术参数 品名：
真空镀膜电源 型号：
SPWM系列 输入：
相数
单相或三相
电压
220/380V
频率
50Hz 输入方式：
4线（含地线） 输出：
波形
直线
功率 30KW /60KW /100KW（可定制）
电压
0—1200V（可定制）
稳定度
≤1%
电流
0—200A（可定制）
稳定度
≤1%
纹波及杂讯 ≤5%或≤3%
效率
≥90% 控制： 功率
可选择
电压
恒压控制，可本地控制也可通过0-10V或4-20mA
电流
可选择 保护：具备缺相、过热、限压、恒功率、过压、过流、短路、超