特点
Z轴装有数显弧形标尺,可以提供更大的测量范围和更高的分辨率,从而不必再依次测量倍率。可以应用数据分析系统 (个人计算机和Rormpak-1000软件和XY绘图仪)
技术参数
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X轴 |
测量范围 |
50mm(CV-1000)或100mm(CV-2000) |
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分辨率 |
0.2μm |
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测量方法 |
反射型线性编码器 |
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驱动速度 |
0.2,1mm/s和手动 |
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测量速度 |
0.02-5mm/s |
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测量方向 |
向后 |
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直线度 |
3.5μm /50mm(CV-1000) 3.5μm /100mm(CV-2000) *当X轴在水平方向上 |
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指示精度 (20℃) |
±(3.5+2L/100)μm L为驱动长度(mm) |
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倾斜范围 |
±45°(CV-2000) |
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Z1轴 |
测量范围 |
25mm(CV-1000)或40mm(CV-2000) |
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分辨率 |
0.4μm(CV-1000系列) 0.5μm(CV-2000系列) |
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测量方法 |
弧形编码器 |
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指示精度 (20℃) |
±(3.5+14H/25)μm) H为水平位置上的测量高度(mm) |
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探针上下运作 |
弧形运动 |
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探针方向 |
向下 |
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测力 |
10-30mN |
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跟踪角度 |
向上 |
77° |
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