测头类型
N
测量原理
电涡流
测量范围
0-1250um/0-40um(铜上镀铬)
低限分辨力
1µm(10um以下为0.1um)
探头连接方式
一体化
示值误差
一点校准(um)
±[3%H+1.5]
两点校准(um)
±[(1%~3%)H+1.5]
测量条件
最小曲率半径(mm)
凸3 凹10
基体最小面积的直径(mm)
ф5
最小临界厚度(mm)
0.3
温湿度
0~40℃ 20%RH~90%RH
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