URE-2000系列光刻机

型号：17

1、采用多反射镜实现均匀照明；   
2、采用球气浮找平，调平精度高；      
3、高倍率双目双视场显微镜和19英寸宽屏液晶显示同时观察对准过程，

并提供USB输出；既满足高精度对准，又可用于检测曝光结果，且曝光

结果和方便存储；    
4、曝光波长采用纯净365nm,冷光照明（曝光面能量5mW/cm ，温度小于35度）       
5、手动上下版、样片，手动调平；手动分离间隙。       
6、快门可以单独开启，也可以数字设定自动倒计时曝光（设定范围0.1s-9999s）       
7、采用200W进口（德国）直流汞灯，可调节光的能量密度；设备外形美观精制

性能非常可靠

二、主要技术指标： 
1、曝光面积：ф100mm； 
2、分辨力：　 1.7µm（胶厚2 µm的正胶）； 
3、对准精度：  ±1µm；　　 
4、掩模样片整体运动范围：X：6mm;Y:6mm； 
5、掩模尺寸：2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch； 
6、样片尺寸：直径ф15mm-- ф100mm、 
　　　　　   厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm)； 
7、照明均匀性：±6%（ф100mm 范围）； 
8、掩模相对于样片运动行程：X: ±5mm;　 Y: ±5mm;　θ: ±6°； 
9、汞灯功率：200W（直流）；
10、曝光波长：365nml      
11、曝光能量密度：6mW/cm (420nm以上波长小于0.2mW/cm )l     
12、曝光方式：定时（到计时方式）
13、外形尺寸：650mm（长）´600mm(宽)´900mm（高）