本公司产品采用中华人民共和国电子行业标准SJ/T10583-94 以及SJ37 所规定的通用技术条件和命名方法。
质量流量控制器出厂通常用氮气(N2)标定。
质量流量的单位规定为: SCCM (标准毫升/分);
SLM (标准升/分)
标准状态规定为: 温度 ---273.15K ( 0℃ );
气压 —- 101325 Pa (760mm Hg)
F.S (Full Scale): 满量程值
2、主要技术指标:
功能
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流量计/控制器
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基本型号
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LF-400
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满量程流量范围(N2)
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SCCM
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0~5,10,20,30,50,100,200,500
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SLM
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0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30,50,100,200
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精度(%F.S)
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±1(≤15SLM)
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±1.5(>15SLM)
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控制阀动作型式
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常闭式
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