MF-U
176 系列 — 高倍率多功能测量显微镜
偏光观察：
观察过滤后只有一个方向振动的光。用于观察具有特
殊光学特性的材料，如矿石和液晶。
微分干涉对比观察：
在检测金属、液晶和半导体表面的微小划痕和台阶时
十很有效。
暗视场观察：
挡住直射到物体上的光，只观察散射光，通过高对比
度能观察到在亮视场看不到的划痕和粉末。
亮视场观察：
最普通的观察方式，直接观察从工件表面反射的光。
特点
• 亮视场、大视野观察可得到清晰、无闪
烁的正像。
• 使用长工作距离的目镜，放大倍率可达
20X (总倍率：4000X)。
• 和高级检测显微镜一样采用校正光学系
统(FS 系列)。
• 亮／暗视场观察，偏光观察和微
分头干涉对比 (DIC) 观察。
• 使用立柱两侧的微调／粗调旋钮
进行调焦和测量。
• 调零开关(X 轴和Y 轴) 也位于操作台手柄
的附近。
• 带有镜头旋转盘。
• 增强型目镜可有效缓解眼睛疲劳。

技术参数
观察图像: 正像
光管: Siedentoph 型 (可调瞳距：51 -
76mm), 1X 光管镜头、
双目目镜( 俯角：30º),
十字投影法、带有TV 插板、
光通比、(目镜/TV 插板：50/50)
目镜 : 10X (视场直径：24mm),
可选: 15X, 20X
转盘 (选件): 手动或电动旋转盘
物镜 (选件): 从1X - 100X 的M/BD Plan Apo 物镜
(详见384 页)
轮廓照明
• 光源: 卤素灯泡(12V, 50W)
• 光学系统: 带有可调整光圈的远心照明系统
• 功能: 光强度可调、无级亮度调整
表面照明
• 光源: 卤素灯泡照明选件(光纤冷光照明)
• 光学系统: 带有可调整光圈的科勒照明系统
• 功能: 光强度可调、无级亮度调整
显示装置:
• 轴数: 2 轴或3 轴
• 分辨率: 0.001mm / 0.0005mm / 0.0001mm/
.0001" / .00005" / .00001"
• 功能: 调零、方向转换、
数据输出(通过 RS-232C 接口)
电源: 100/110/120/220/240V AC, 50/60Hz
重量 65.5kg (505B, 1010B),
69.5kg (2010B),
130kg (2017B),
138kg (3017B),
144kg (4020B)