产品信息OX400可用于控制和监视各种半导体应用，并控制环境，空气泄漏入惰性气体及其他过程。
用于半导体扩散炉和烘干炉，以及LCD制造工艺中的氧气浓度控制，用于控制锡焊炉气流和回流炉中气体的氧气浓度，以及电子制造中使用的手套箱和气体生产工艺中氧气浓度的测量，测量氧气浓度，防止粉尘运输中粉尘爆炸。
特点：
使用寿命长，响应速度快：
由于使用了横河电机的新型薄膜沉积专利技术，传感器的寿命周期提高了三倍
圆柱形传感器设计便于置换被测气体，确保高速响应
高性能和高可靠性：
即使在低氧浓度下，仍具有极高的精度和线性
在不同应用中，可选择泵式或抽提采样方式
内置功能和多种自诊断功能：
自带多选择器，自动量程，特定量程以及泵开/关功能
提供多种自诊断功能，以检测故障，如加热器温度错误，温度传感器断偶和传感器电阻值错误
出众的维护性：
可现场更换传感器
小型轻量，易于安装
主要技术参数：
测量对象 惰性气体中的氧气浓度(易燃性气体、腐蚀性气体或液体(包括水蒸气)除外)
测量系统 氧化锆系统
采样方法 泵式、抽提式等
样气条件 流速：200±25ml/min(仅适用于传感器)温度：0～50℃(无结露)湿度：无结露压力：0～300PaG最大容许压力：30kPaG
测量量程 0～10ppm O2至0～100vol% O2
输出量程 自动： 0～10ppm，0～100ppm，0～1000ppm，0～1%，0～10%，0～100%(默认)
固定： 设为0～10ppm，0～100ppm，0～1000ppm，0～1%，0～10%，或0～100%
部分： 可设置下限值或上限值
模拟输出 2路输出，第一路：4～20mA DC(最大负载电阻550Ω)，第二路：可选为0～1，0～5，0～10V DC(负载电阻：10kΩ或更大)
接点输出 报警输出2点： 错误接点，O2浓度报警接点
指定量程范围输出1点： 接点输出
多选择器(选配件)： 流路切换接点输出和测量中流路信息接点输出
接点输入 1点：采样气体吸入泵的远程ON/OFF
自诊断 故障： 传感器错误，加热器温度错误，温度传感器断开，设备温度错误，CPU错误，FAN停止
报警： 加热器不稳定，传感器错误，电动势异常，非对称电压错误错误，标定错误，传感器电阻错误，O2浓度上/下限，超限
串口通信 RS-232，38400 bps
标定方法 (1)3点：10ppm，1000ppm，空气，(2)2点：可设定为零点气和量程气标定，(3)1点，(4)空气标定
暖机时间 20分以内
电源 100～120V AC/220～240V AC，50/60Hz
功耗 100～120V AC，200VA 最大，220～240V AC，400 VA 最大
尺寸 213 (W) x 132 (H) x 约375 (D) mm
质量 约5kg
管线连接 气体入口：Rc1/4或1/4NPT内螺纹气体出口：Rc1/4或1/4NPT内螺纹
环境条件 安装条件： 室内，盘装或壁装，非易燃区域
环境温度： 0～40℃，无结露
环境湿度： 5～85%RH
储存温度： -5～50℃
重复性 ±1%F.S.(10，100，1000 ppm，1%，10%或100%)
线性 ±2%F.S.±3%F.S.(0～100ppm或更低)
响应时间 90%响应10秒内(0～1%或更高)30秒内(小于0～1%)
漂移 ±2%F.S./周
