一、 设备特点
采用卧式结构,占地空间小,操作方便,可对一些小型工件在真空或者保护气氛下进行热处理,是高校、科研院所、工矿企业等做CVD、气氛保护、还原和真空处理用的理想产品。
真空度可到达5pa,温度1200度。
二、 结构说明:
1. 管式炉:外部为型钢和板组成的炉壳,内部为耐火纤维组成的炉衬,加热元件为高温铁铬铝,绕制在高铝质的炉膛外,炉管为310S的耐高温不锈钢制成。
2. 真空箱:由不锈钢板和型钢组成,内部严格抛光,箱体上开有抽气口,充放气阀,观察孔,电极引出孔等,真空箱设有炉门装置,可手动打开,并有压紧装置。
3. 真空系统,由一台机械泵配压差阀、真空管路、压力表、真空测量和真空计等组成。