磁控、中频、多弧离子镀膜
肇庆市振华真空机械有限公司
中国 肇庆
产品属性
图文详情
品牌推荐
品牌/型号
ZCK-1000
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设备型号 |
ZCK-1000 |
ZCK-1150 |
ZCK-1200 |
ZCK-1400 |
ZCK-1600 |
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真空室尺寸 |
1000×1200 |
1150×1200 |
1200×1300 |
1400×1300 |
1600×1300 |
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制膜种类 |
金色氮化钛、黑色碳化钛、七彩氧化钛、耐磨膜、超硬膜、金刚石膜、金属装饰膜等 |
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电源类型 |
直流电源、中频电源、电弧电源、灯丝电源、活化电源、脉冲偏压电源 |
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多弧靶 |
多弧靶5个或18个，1个或2个柱弧靶 |
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孪生靶 |
中频孪生柱靶或平面靶（1-4对） |
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真空室结构 |
立式前开门结构（双层水套式或水槽式冷却）、后置抽气系统 |
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真空系统 |
旋片泵＋罗茨泵＋扩散泵＋维持泵（或选配：分子泵、深冷泵、深冷系统） |
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加热系统 |
常温至350度可调可控（PID控温），不绣钢加热管加热 |
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充气系统 |
质量流量控制仪（1-4路） |
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极限真空 |
6×10－4pa（空载、净室） |
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抽气时间 |
空载大气抽至5×10－3pa小于13分钟 |
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保压率 |
1h≤0.6pa |
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工件旋转方式 |
上旋转或下旋转＋公自转变频无级可控可调，0-20转/分 |
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控制方式 |
手动＋半自动/触摸屏＋PLC |
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备注 |
真空室尺寸可按客户产品及特殊工艺要求订做 |
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