东莞市赛锦仪器设备有限公司
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东京精密SURFCOM 5000DX 机型
世界首屈一指之高精度˙高速˙高解析度
表面粗度輪廓兩用量測機
高穩定性之倍光路型干涉感應器 (專利許可)
應用東京精密核心技術-光纖式雷射干涉測長系統,
搭載高穩定性之倍光路型He-Ne雷射干涉感應器,
解析度可達世界最高等級0.3nm。
世界首屈一指的高精度
解析度可達世界最高等級0.3nm,演算範圍和分解
析度比可達43,333,000 :1之高自動化對應性能。
驅動部搭載線性驅動馬達
採用線性驅動馬達,實現量低震動、高精度、高量
測速度的特性。
一次量測即可分析出表面粗度和輪廓形狀
無需更換測頭即可一次量測出粗度/輪廓
搭載東京精密次世代統合量測系統TiMS軟體,單鍵即
可切換粗度、輪廓的畫面, 另可整合分析結果做快速
列印。
大範圍˙自動測量
橫向200mm、縱向13mm之大範圍性能。
45°電動傾斜裝置,自動工件水平調整功能(選配)。
內建自動紀錄、播放功能,可將包含驅動部的量測、
分析等動作自動記憶,播放並執行CNC全自動量測。
項目 / 型式
SURFCOM 5000DX/SD
量測範圍
Z軸(縱方向)
13mm / 50mm測臂, 26mm / 100mm測臂
X軸(橫方向)
200mm
精度 Z軸指示精度 ±0.2+|H|/1000μm (±0.2μm/H±6mm) H=量測高度(mm)
測量解析度
0.31nm/50mm測臂
X軸指示精度 ±(0.2+L/1000)μm (±0.4μm:L200mm時) L=量測長度(mm)
測量解析度 0.54nm
真直度精度
(0.05+3L/10000)μm (0.11μm:L200mm時) L=量測長度(mm)
感應方式 Z軸(縱方向)
高穩定 倍光路型雷射干涉感應器
X軸(橫方向)
折射型光學尺
粗度處理功能 對應規範 IS-2001,JIS-1994,JIS-1982,ISO-1997,ISO-1984,DIN-1990,
ASME-1995,CNOMO
參數 Ra,Rq,Ry,Rp,Rv,Rc,Rz,Rmax,Rt,Rz.J,R3z,Sm,S,RΔa,RΔq,Rλa,Rλq,
TILT A,Ir,Pc,Rsk,Rku,Rk,Rbk,Rvk,Mr1,Mr2,VO,K,tp,Rmr,tp2,Rmr2,
Rδc,AVH,Hmax,Hmin,AREA,NCRX,R,Rx,AR,NR,CPM,SR,SAR
評價曲線 斷面曲線,粗度曲線,濾波波 紋曲線,濾波中心線波紋曲線,
滾動圓波紋曲線,滾動圓中心線波紋曲線,DIN4776特殊曲線,
粗度Motif曲線,波紋Motif曲線,包絡波紋曲線
特性曲線 負荷曲線,振幅分佈曲線,力譜圖
顯示縱倍率 50~500K倍﹑任意﹑自動
顯示橫倍率 0.1~20K倍﹑任意﹑自動
輪廓處理功能 計算處理 點,直線,圓,部分圓,橢圓,最大點,最小點,距離,座標差,極座標差,
直角/極座標顯示,交叉要素,對稱要素,面積計算,齒距計算,
尺寸線顯示功能,計算結果設計值比對,鏡面反轉,形狀合成功能,
巨集功能,自動要素判別,重複計算功能,工件軌跡顯示功能,
峰值搜尋功能,自動操作記錄/播放功能,形狀設計值比對,最佳比對,設計值製作功能,IGES/DXF轉換功能
顯示倍率 0.01~10,000,000倍(可任意,自動)(縱/橫皆可)
驅動速度
上下速度(Z軸) ~200mm/s
測量速度(X軸) 粗度0.03~3mm/s, 形狀0.03~20mm/s
移動速度(X軸) 0.02~60mm/s
測針
尖端半徑2μmR鑽石材質測針(50mm測臂)、測定力0.75mN
其他
電源 AC100~240V±10%﹑50/60Hz
消耗電力 505VA
尺寸 2000(W)×1000(D)×2000(H)mm
重量 500kg