GFM 用于显示和控制气体流量。

可选LCD显示，可安装于顶部，也可用于远端读数。

 

GFC 用于显示和控制气体流量。

电磁阀内置，可在本地或远端控制设定点。

自带电源保护及极性保护，氦气最大泄露率为1X10-7sml/sec。

 

 

特点： 坚固的金属铝和不锈钢材质              0-5VDC和4-20mA信号

最大压力1000psig(70bar)                回路保护

泄漏率小于1×10-7 sml/s                 可作便携设备使用

经过NIST校准                        可选工程单位或者百分比显示

可选LCD显示仪                      累积器可选

 

 

附表：流量范围10sccm到1000sL/min（N2）

 

 

 

GFM气体质量流量计

GFC质量流量控制器

 

选型表