原装进口日本ANELVA电离真空计M-832HG
产品型号:M-832HG
产品名称:电离真空计
产品品牌:日本ANELVA
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产品介绍
M-722HG/M-822HG/M-922HG/M-832HG 概要と特長
1.概要
M-722HG/M-822HG/M-922HG/M-832HG は、広範囲な圧力領域での測定が可能な、レンジを持ち、高速、高精度の圧力測定が可能な電離真空計です。M-722HG では UGD-1S、M-822HG では BRG- 1B、M-922HG では NIG-2F または NIG-2TF、M-832HG では????????????????????測定球専用の真空計です。
2.特長
l B-A ゲージ UGD-1S,BRG-1B,またはヌードイオンゲージ NIG-2F、NIG- 2TF を専用球として、広範囲な圧力測定が可能
圧力測定範囲(圧力値表示範囲)
M-832HG 1.32×101 Pa~0.01×10-7Pa
M-722HG 1.32×10-1Pa~0.01×10-6Pa
M-822HG 1.32×101 Pa~0.01×10-6Pa
M-922HG 1.32×10-1Pa~0.01×10-9Pa l H100×W210 の 1/2 ラックサイズを採用したディジタル表示の自動レンジ切替の電離真空計 l 広範囲な圧力領域に適したエミッションの自動切替方式の採用 l 豊富な外部入出力(フィラメント ON/OFF、脱ガス ON/OFF など)により、自動化装置に対応可 l オプションボードによる機能拡張が可能(コンピュータインターフェイス等) l レコーダ出力(仮数、指数、複合)およびアナログ出力を標準装備
3 .仕様
型名 M-722HG M-832HG M-822HG M-922HG
適用測定子 UGD-1S MG-2 MG-2F BRG-1B NIG-2F NIG-2TF
圧力表示範囲 1.32×10-1Pa ~0.01×10-6Pa 1.32×101 Pa~ 0.01×10-7Pa 1.32×101 Pa~ 0.01×10-6Pa 1.32×10-1Pa~ 0.01×10-9Pa
レンジ切換 自動(レンジホールド機能付)
圧力表示(デジタル)仮数部 0.00~9.99 指数部-1~ -6(Pa) 仮数部 0.00~9.99 指数部-1~ -7(Pa) 仮数部 0.00~9.99 指数部+1~-6(Pa) 仮数部 0.00~9.99 指数部-1~ -9(Pa)
????????????電流
400μA 4mA 10μA 100μA 1mA 40μA 400μA 4mA 400μA 4mA
自動切換????????(工場出荷時),固定????????から選択
ガス出し グリッド通電方式 電子衝撃方式
手動??自動 外部制御可能 オートデガス設定時ガス出し時間設定可(3,6,9分、連続)
表示周期0.5sec
????????????電位+ 45V
グリッド電位+ 180V 通常時 : +180V ガス出し時: +450V ??????????電位 0V ??????????電極電位 0V
????????????電力1~10V, 6A (MAX) DC 駆動方式 0.5~6V,2A(MAX) DC 駆動方式」 1~10V, 6A (MAX) DC 駆動方式
????????????切換リアパネル外部入力信号により制御可能
????????????保護1.33x10-1Pa 以上 1.33×101 Pa 以上設定圧力:1Pa 、 0.1 Pa?? 0.01Pa 1.33×101 Pa 以上 1.33x10-1Pa 以上
型名 M-722HG M-832HG M-822HG M-922HG
外部入力入力形態??????????????入力 DC 5V~24V (6~12mA)
① フィラメント ON/OFF
② デガス ON/OFF
③ フィラメントインビット
④ ゲージセレクト(オプション使用時)
⑤ レンジホールド 1
⑥ レンジホールド 2 フィラメント切替
外部出力出力形態??????????????出力 100mA/各出力各出力電流合計 450mA 以下
① フィラメント ON/OFF ステータス
② デガス ON/OFF ステータス
③ リモート/ローカルステータス
④ セットポイント(2 点)
⑤ フィラメント 1/2 ステータス
⑥ ゲージセレクトステータス(オプション使用時)アラーム、パワーON/OFF ステータス
記録計出力
① 仮数部出力 (0~10VDC)
② 指数部出力 (0~10VDC)
③ 複合出力 D/A 出力 l リニア(0~11VDC) l LOG(0~10VDC)
エレクトロメータ出力(0~1V)APC????????では、max2.5V
所要電力AC 100V ±10%??1A(M-922HG は 2A)??50/60Hz
外形寸法H99mm x W209mm x D330mm (1/2 ラックサイズ)
質量5.4Kg
使用環境5℃~40℃
湿度70%以下
構成品
M-722HG/M-822HG 構成品
M-722HG/M-822HG 本体 1台
AC 入力ケーブル 3m 1本
予備ヒューズ (5A??15A) 各1本
外部制御用入出力コネクタ(富士通 360 型 32Pin) 1個取
扱説明書 FT-651-043 1部
M-922HG 構成品
M-922HG 本体 1台
AC 入力ケーブル 3m 1本
予備ヒューズ (5A) 1本
外部制御用入出力コネクタ(富士通 360 型 32Pin) 1個
取扱説明書 FT-651-043 1部
M-832HG 構成品
M-832HG 本体 1台
AC 入力ケーブル 3m 1本
予備ヒューズ (3A) 1本
外部制御用入出力コネクタ(富士通 360 型 32Pin) 1個
取扱説明書 FT-651-043 1部