HEPA（高效率过滤器）是最后一层的过滤。是由玻璃纤维纸所制造。它可以过滤掉0.3μm的粉尘达99.97%，是人类头发直径的1/300的粉尘。每一个过滤器都经过DOP（美国陆军总部）的测试，并使用在适合的规格上。HEPA过滤器可以收集到有毒的危险的粉尘。适合用在较细微的过滤。ULPA（超高效率过滤器）也是使用玻璃纤维纸所制造，但是它的材质编排的更加的紧密。它可以过滤掉99.9995%的粉尘，包括0.12μm大小的粉尘，是人类头发直径的1/960。ULPA过滤器比HEPA过滤器更适合用在极重要的污染控制里。