扩散硅压力变送器有两种形式:
一种是在膜片后面放一块扩散硅,膜片受压后扩散硅阻值改变,
通过测量阻值并转换成标准信号输出,这种变送器寿命较低,且
精度、稳定性不太好。没有差压类型。
另一种是将扩散硅结合在测量膜片中,组成一个电桥,以日产
EJA系列为例,在双向受力膜片上开16条槽,植入扩散硅,成型
后从中挑选4个参数一致的组成电桥,工作时桥臂电阻改变,桥
路输出经转换形成标准信号输出。利用电桥原理可以形成极强的
抗漂移、抗外部干扰的能力。工作时膜片置于不同的腔室中可接
受差压、绝压、表压信号。这种变送器抗干扰能力,寿命和精度
指标都比较高。