超纯水的整个工艺流程是先经过预处理，然后加药杀毒，再经过RO反渗透系统，再使用离子交换混床或者EDI设备制取超纯水。
    由于超纯水对水质的BOD和TOC等物质的含量要求比较高，所以一般会采取二级反渗透，后面的工艺比则采取离子交换混床或者EDI的技术。

EDI技术是先进的超纯水设备，是反渗透设备厚的二次除盐设备。EDI设备无需化学药剂的再生，可以连续运行。在具体的应用中，仅调节EDI的运行电流就可以改变其出水水质。因此广泛用于微电子工业，半导体工业，发电工业，制药行业和实验室。也可以作为制药蒸馏水、食物和饮料生产用水、发电厂的锅炉的补给水，以及其它应用超纯水。