L65614-64J/RZQ全功能微控扩散系统

 

该系统是生产半导体器件和大规模集成电路的重要设备。

1、系统组成：a)扩散炉主机 b)推拉舟及层流净化台 c)气源柜 d)排毒柜 e）微机控制柜

2、扩散炉管数：1～4管/台

3、炉管内径：φ90㎜×240mm

4、恒温区长度：≤600mm±1℃(300～800℃） ≤600mm±0.5℃(800～1250℃）

5、单点稳定性：±1℃/24h(300～800℃）    ±0.5℃/24h(800～1250℃）

6、气源路数：≤6路

7、气源控制：MFC或浮子流量计

8、推拉舟行程：最大1500mm

9、推拉舟速度范围及精度：（1～1000）± 3mm/min

10、推拉舟位置控制精度：≤3mm

11、冷却方式：水冷+风冷

12、微控部分采用STD总线功能模板

    a)主CPU板：8031+32ROM+8KRAM+总线接口部件

    b)信号调理板：完成对温度过程的采样、放大及高精度A/D的转换

    c)人机界面板：接收键入信息管理，并配置9”液晶显示

    d)推拉舟接口板：输出推拉舟速度值，完成舟位置检测，输出推拉舟的运动指令

    e)MFC接口板：输出MFC设定值，将MFC的流量信息采入计算机

    f)可控硅控制及形状量输出板：完成与可控硅触发及开关量放大驱动器接口等功能

    g)键盘：采用标准键盘或专用小键盘

    h)电源板（非STD总线板）

    i)可控硅触发板：完成可控硅的过零触发或移相触发驱动(非STD总线板)

    j)开关量驱动板：完成由STD总线板的数字信号(TTL电平)的转换、放大，用于驱动气路阀（非总线板）

    k)推拉舟驱动部分：接收总线板输出的推拉舟速状态指令，并将位置转换成标准信号输出，有手动自动转换

13、微机控制特点：

    a)工艺温度段数：1～14段，可选段运行

    b)单段时间范围：1～1080分钟/斜变段    1～9999分钟/恒温段

    c)三个温度测控回路独立修正温度测量值               d)三个温度测控点独立修正温度测量值

    e)PID参数，温度修正量可在线修改                      f)温度设定单位：℃   分辨率：0.1℃

    g)工艺段时间设定单位：min，分辨率：1min                h)各类工艺数据断电后长期保存

    i)工艺气体流量，推拉舟运动状态由微机实行闭环控制 j)中文显示各类提示信息

k)各类输入信息采用填表方式完成，条例清楚，逻辑合理