L65614-64J/RZQ全功能微控扩散系统

 该系统是生产半导体器件和大规模集成电路的重要设备。1、系统组成：a)扩散炉主机  b)推拉舟及层流净化台  c)气源柜  d)排毒柜  e）微机控制柜2、扩散炉管数：1～4管/台3、炉管内径：φ90㎜×240mm 4、恒温区长度：≤600mm±1℃(300～800℃）  ≤600mm±0.5℃(800～1250℃）5、单点稳定性：±1℃/24h(300～800℃）    ±0.5℃/24h(800～1250℃）6、气源路数：≤6路7、气源控制：MFC或浮子流量计8、推拉舟行程：最大1500mm9、推拉舟速度范围及精度：（1～1000）± 3mm/min10、推拉舟位置控制精度：≤3mm11、冷却方式：水冷+风冷12、微控部分采用STD总线功能模a)主CPU板：8031+32ROM+8KRAM+总线接口部件 b)信号调理板：完成对温度过程的采样、放大及高精度A/D的转换c)人机界面板：接收键入信息管理，并配置9”液晶显示d)推拉舟接口板：输出推拉舟速度值，完成舟位置检测，输出推拉舟的运动指令e)MFC接口板：输出MFC设定值，将MFC的流量信息采入计算机f)可控硅控制及形状量输出板：完成与可控硅触发及开关量放大驱动器接口等功能 g)键盘：采用标准键盘或专用小键盘h)电源板（非STD总线板）