多晶硅定向凝固炉(简称结晶炉)
用于太阳能级硅锭制造,也可以用于其他半导体材料提纯。
主要技术参数 熔炼容量:10-300KG 电源功率:50-400KW 升温速率:40℃/Min 炉温均匀性:±5℃ 极限真空度:6.67×10-2Pa 压升率:0.01PaL/S 额定充气压力:0.05Mpa 铸锭方式:下降定向凝固 伺服控制范围:0.01mm-6mm/Min 定向凝固速率:0.03mm-0.5mm/Min 坩埚上升速度:80-100 mm/Min
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