在高压电场作用下，电场中的气体被电离成电子和离子，电子在高压电场中运动，不断与周围气体分子碰撞，产生更多的电子和离子。在此高压电场中存在大量的电子和离子，且电子和离子的数目是相等的，这个区域称为等离子体。在等离子体区域中有害气体分子被电子激活获得很大的能量，极易发生各种化学反应，有害有机物气体（如甲苯、二甲苯等）与氧气作用生成水和二氧化碳。
各种恶臭气体通常为含硫有机物，和氧气作用生成水、二氧化碳和二氧化硫等。有许多在通常条件下不能发生化学反应，在等离子区域中都可能发生，如氧气分子在等离子体中被分解，而后重新组合生成臭氧。氟里昂类的物质常用作致冷剂，日前已被禁止使用，此类物质非常稳定，不易被分解，只有在等离子体中才能被电子轰击而解离，从而被清除。因此等离子体在环保工业方面的应用越来越受到重视，今后它的应用必然会越来越广。