主要用于纯水后端及无菌纯水系统上使用
过滤分子量大于6000的物质。进水走外侧,产品水走内侧,其在使用过程中无离子和TOC溶出。UF的产水有五个指标:Particle、DO、Silica、TOC、Resistivity。它们的spec分别是:Particle<1N/ml(0.1);DO<100ppb;Silica<1ppb;TOC<10ppb;Resistivity >18 MΩ·cm。UF的产水就直接供给用户点使用,供水实际上是一个循环的管路(loop)。最大的用户点是WET BENCH和CMP。