X、Y軸測量行程100-600mm
Z軸調焦行程140
重現性<0.003mm
解析度標準0.001mm
測量精度3+L/150um
放大倍率連續變倍鏡頭20-120倍
照明燈源白光LED燈源(上、下垂直投射)+側燈(鹵素燈)
機台大小350x270mm 臺面荷重20Kg
機台重量100Kg
外型尺寸
560x580x860mm
儀器電源AC 220/110V 50/60HZ
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