1.直径D:Φ1.00 – Φ220.00mm,直径极限偏差0.005-0.02
2.厚度H:0.1 - 50.00mm, 厚度极限偏差+/-0.005
3.材料:优质人造蓝宝石单晶体(α-Al2O3≥99.99%)、BK玻璃
4.晶向:C、A、R
5.轴向:C轴偏差≤3°
6.表面粗糙度:Rz0.01
7.平面度:λ/B:633nm
8.面形精度:0.1λ
9.中心偏差:0.01mm
10.表面要求:双面抛光,单面抛光
11.表面质量:S/D:10/5 20/10 40/20 60/40 80/50
12.红外透过率:在633nm波长下>85%