UVOCS 紫外臭氧（OZONE)清洗机 ·
超洁净表面 · 室温操作 · 快速－大多数应用10分钟内可完成 · 运行简单 · 超低采购成本和最小运行成本 · 两种尺寸10×10 英寸（25.4×25.4cm）和16×16英寸（40.6×40.6cm）可选择 · 110伏 或 220伏 紫外臭氧清洗过程提供一种简单，经济，快速获得超洁净的表面，去除大多数无机基材（比如石英，硅片，金，镍，铝，砷化镓，氧化铝*等）上的有机污染物。特别是当基材和薄膜蒸镀需要很好的粘接时，紫外清洗非常理想。获得超洁净的表面，只需要在传统清洗后，再用紫外臭氧清洗过程几分钟就可以啦。 l 紫外臭氧清洗可以去除： 皮肤油脂，有机硅油和油脂，助焊剂，残留的光刻胶，胶水溶剂，碳等。 l 怎样说是“超”洁净？ 接触角测量方法4－5度。适用AES和ESCA测量细微的峰值。使用蒸汽测试，在冷凝和蒸发时形成一致的彩虹装的条纹。通常情况下，使用清洗或是超声清洗工序后，清洁关键表面认为完成。紫外臭氧清洗提供一种新的清洗尺度。在传统清洗工序后加入紫外清洗的应用，产品的性能和可靠性的提升不断的证明这种新的清洗尺度的价值。 l 紫外臭氧清洗工作原理： UVOCS清洗设备的核心是低压石英汞灯，产生254和185nm范围的紫外线。臭氧和等离子氧气产生，有机污染物分子在吸收254nm波长紫外线后被激发或分解。激发的有机污染物可以和等离子氧原子反应形成气体，比如CO2,H2O等。整个过程在室温**发生，并且只需要1到几分钟完成。
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