采用进口RO反渗透技术和后处理EDI电除离子装置，用于更深度的除去水中的有机物质和无机性阳，阴离子。制备特别高纯净的超纯水、无需酸碱再生、其出水水质电阻率可达15-18MΩ以上。
工艺流程为：原水-预处理-RO反渗透-EDI电除盐-抛光树脂床-后处理-超纯水

超纯水制备装置

    水中的杂质一般分为五种物质1．电解质，2．有机物质，3．颗粒物，4．微生物，5．溶解气体。
    超纯水的制备，主要是将以上五类杂质去除和降低。根据原水水质情况和出水水质要求，通常采用预处理过滤，RO反渗透，EDI电除盐，精制混床等处理单元，制备纯度更高的纯水，其产水水质，可达到电阻率1 7．5—18．2MΩ—cm，用于电子、芯片、半导体、光电、单晶硅及精细化工等行业。
常用的超纯水制备工艺流程如下：
原水--预处理--一级RO--二级RO--EDI--脱气--精混床--除TOC--膜滤--超纯水
主要处理单元简介
1．预处理将水中的机械性杂质，胶体有机物等大颗粒物质，预先进行过滤和吸附，减轻后级RO系统负担，保护和延长RO膜的使用寿命。
2．R0系统可除去98．5％以上的溶解性盐类和有机物质，有利后级进行深度提纯处理。
2．ED工系统连续电除盐，是利用混合离子交换树脂吸附给水中的阴阳

离子，同时这些被吸附的离子又在直流电压的作用下，分别透过阴阳离子交换膜而被去除的过程。此过程离子交换树脂不需要用酸碱再生。
4．精混床一般采用核子级树脂，可有效地除去水中残余离子，其要求化学稳定性好，不分解，不含低聚物等。

5．除TOC借助于185波长的紫外线光，分解水中的不易被活性炭吸附的小有机化合物，使其转变成CO2和H2O，降低TOC的指标。
6．终端膜滤器采用0．22um滤芯膜过滤，以除去水中的微小颗粒物．

设备规格：
100升／时一2000升／时、3吨／时一10吨／时、
10吨／时一50吨／时