流量控制器/流量计操作说明书
一、用途和特点
气体质量流量控制器（Mass Flow Controller ）/气体质量流量计(Mass Flow Metre)用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。
上海瓷熙仪器仪表有限公司是一家专业从事研发、生产和销售气体质量流量计、质量流量控制器及流量显示积算仪的二级计量企业，具有自主知识产权的专利产品-DSN系列已获得了国家制造计量器具许可证，并广泛应用于半导体、真空、太阳能、分析仪器、光电、制气、医疗、电力、化工等各个领域。
产品具有精度高、 重复性好、稳定性高、性价比高、工作压力范围宽、使用寿命长等特点。
XD-600数字型质量流量计/控制器具有以下特点：
1.本地显示，高清晰液晶屏
2.数字、模拟量输入输出
3.上位机软件控制运行
4.极低零漂和温漂
5.多气体、多量程、高精度、快反应
6.单电源供电：7-16VDC 1A(可选24VDC)
二、气体质量流量控制器的命名方法
本公司产品采用中华人民共和国电子行业标准SJ/T10583-94 以及SJ37 所规定的通用技术条件和命名方法。本技术说明书为XD-600数字型质量流量计/控制器的使用说明书。  

 

三、主要技术指标:XD-600数字型质量流量计/控制器主要指标:流量规格（N2）：(0~5、10、20、30、50、100、200、300、500)SCCM；(0~1、2、3、5、10、20、30、50、100)SLM准确度：±1%F.S.线性：±0.5%F.S.重复精度：±0.2%F.S.响应时间：≤1Sec工作压差范围：(0.05~0.3)MPa最大耐压：10MPa工作环境温度：5~65℃电气连接：8 Pin（Mini S Plug）输入/输出信号Digital：RS232/RS485 ；Analog:(0~5) VDC or (4 ~20)mA电源：7~16VDC ；1A标准接头：Swagelokφ3,φ6, φ10…；Swagelok 1/8″,1/4″…；VCRφ3,φ6…；VCR 1/8″,1/4″…外形尺寸130*28*121mm重量约1.0kg注意:质量流量控制器出厂通常用氮气（N2）标定。质量流量的单位规定SCCM (标准毫升/分);SLM (标准升/分)CCM (毫升/分);LM (升/分)标准状态规定温度—273.15K (0℃)气压—101325 Pa (760mm Hg)温度—25℃气压—101325 Pa