此自动检测设备整合了电池片在电动伺服马达平移台上迅速移动，可由软件菜单选择电池片量测座标并可选择以下三种量测功能：A,全光谱绒面椭偏仪（SE）---多层膜或单层膜减反射膜厚及折射率 B，D8绒面反射仪（D8SR）---制绒过程反射率监控以及减反层膜厚C,4PP探针---量测源片及扩散后方块电阻，
最后量测结果可藉由网络自动上传至客户端中央电脑（CIM）做SPC生产管理自动监控，系统尚可搭配条码机或RFID作为自动批量品管。
该设备可以一次性快速检测出电池片不同位置多层膜或单层膜减反层膜厚，折射率，反射率，消光系数，方块电阻，通过程序控制可以快速完成其中各项单独的数据检测，造价低廉，与传统客户单独购买（进口单波长绒面椭偏仪SWE+D8绒面反射仪+四点探针）相比较，功能不但较为强大造价反倒更便宜30%以上。
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