RC2000净化室用减压阀 RC2000系列采用禁油规格、不锈钢本体，最适合半导体制造装置、 液晶制造装置总净化空气、N2的压力控制。另外，紧凑型
·大流 量适合空气（N2）吹气。

●禁油规格 　进行精密洗净(连接气体部分)，在净化室中从组装到包装进行一 条线生产。另外,连接气体部分没有使用润滑油脂。

●紧凑型
·大流量 　面之跨距为50mm的紧凑型尺寸,但是实现了0.8m3/min的大流量。
　（为一次压0.7MPa、设定压力0.5MPa、压力降0.1MPa时的流量）
●带可逆流机构(没有背压时) 　排放一次侧压力，二次侧压力具有向一次侧排放的可逆流机能。
　二次侧没有残留压力,是重视安全性的产品。