磊晶/晶元/外延片雕刻机 系统参数：激光功率25W50W100W系统规格原装进口ILS-IIINM智慧型磊晶/晶元/外延片雕刻机激光波长10.64µm（CO2）激光器类型美国原装密闭型CO2金属射频管冷却方式 风冷重复精度± 0.001 mm雕刻切割速度1524mm/s(60 inch/sec)工作区域660 x 495 mm最大容纳尺寸640 x ∞ x 210 mm
(L x W x H)Z轴工作台调整0～210mm记忆体容量64MB高记忆体，可同时存储99个档案电脑连接