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磊晶/晶元/外延片激光雕刻机 系统参数:激光功率30W50W100W系统规格原装进口ILS-4智慧型磊晶/晶元/外延片激光雕刻机激光波长10.64µm(CO2)激光器类型美国原装密闭型CO2金属射频管冷却方式 风冷重复精度± 0.001 mm工作区域1000 x 600 mm最大容纳尺寸1200 x ∞ x 210mm (L x W x H)Z轴工作台调整0~210mm记忆体容量64MB高记忆体,可同时存储99个档案电脑连接
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