SCA103T系列是基于3D MEMS的高精度单轴倾角传感器，它提供了水平测量仪表级别的性能。传感器的传感元件在测量时需要与测量平台保持平行，并且传感器双轴需相互垂直。低温度依赖性、高分辨率、低噪声和健全的传感元件设计让SCA103T成为水平测量仪器的不二选择。VTI的倾角传感器对于振动不灵敏，因为他们都在传感元件内部增加了阻尼，并且能承受高达20，000g的机械冲击力。 性能参数参数名称条件SCA103T-D04SCA103T-D05单位工作电压 4.75…5.254.75…5.25V工作电流VDD=5无负载44mA工作温度 -40…125-40…125degC量程 /-15 /-30度频率响应-3dB8…288…28Hz零点输出环比电压输出VDD/2VDD/2V数字输出10241024LSB零点校正误差 /-0.057 /-0.11度灵敏度 168V/g0…1度范围内280140mV/度灵敏度校正误差 /-0.5 /-0.5%数字输出灵敏度 65543277LSB/g零点温漂-25…85degC /-0.002 /-0.002度/degC -40…125degC /-0.29 /-0.29度线性度测量量程内 /-0.057 /-0.11度数字分辨率 1212位0…1度范围内0.00090.017度/LSB模拟输出分辨率带宽10Hz0.00130.0013度交叉灵敏度最大44%环比误差VDD=4.75…5.25V /-1 /-1%长期稳定性连续供电@23degC<0.004<0.004度
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