MX61/MX61L 
产品特点:
半导体检查显微镜200mm/300mm晶圆FPD检查显微镜
• 大型载物台搭载: 可用于400×300mm液晶基板, 300mm晶圆全面检查(MX61L)
• 采用高NA的透射光聚光镜, 图像更锐利
• 多种观察方式 多种照明方式 多种附件以满足不同应用要求
• 透射和反射照明可同时使用, 极大提高液晶基板观察效果